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编辑时间 : 2020-06-18
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(氧)等离子体是目前使用中最常用的等离子体清洗技术。沛沅Pluto威尼斯人在线登录是利用氧气作为等离子源用于清洁,比如大家的Pluto-T和Pluto-M入门级威尼斯人在线登录。


    

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      氧气是常用的用于非金属材料的处理,如玻璃,塑料,聚四氟乙烯。氧气也很便宜,易于获得。可以在实验室里购买和设置氧气发生器。

      和其它形式的Plasma一样,氧清除有机物,也能进行表面改性。例如,氧等离子体将清洗  塑料试样的表面,增加其润湿性。

      然而,精确控制时间是必要的;如果氧等离子体应用太久,可能会导致塑料样品损坏。

      氧等离子体是不适合应用于银样品。氧会腐蚀含银的金属。

      等离子体灰化

      等离子体灰化是产品的制造过程中除碳过程。等离子体灰化总是用氧等离子体处理。

      等离子体灰化的目标一般是有机物的去除,包括碳的氧化物和水蒸气,都是易挥发的。所有被清除的污染物被真空泵抽出腔体。氧等离子体去除有机物的所有痕迹。

      氧气和氩气

      所有的等离子蚀刻进入等离子处理解决方案是使用氧气或氩气,如果样品情况特殊,也可以使用其他气体。氧气和氩气很容易储存,可以满足大多数客户的需求。

氧气和氩气最显著的区别是,氧等离子体处理是能够表面改性,而氩气是不能。如果在Plasma过程中太长时间使用氧气,可能会使一些塑料表面的粘合力下降,使其不进行便面修饰,而氩气可以安全使用更长时间。

      氧和CF4

      O2还可以混合CF4在较大的等离子体处理的解决方案,如Pluto-30威尼斯人在线登录的反应离子刻蚀应用。

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